Text
Studi pengaruh perbedaan waktu tumbuh terhadap struktur kristal dan morfologi lapisan tipis ZnO
ABSTRAK
AYU MUTIA, 2016. “STUDI PENGARUH PERBEDAAN WAKTU TUMBUH TERHADAP STRUKTUR KRISTAL DAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS ZnO” Skripsi. Jakarta: Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Jakarta.
Telah disintesis lapisan tipis ZnO di atas substrat Si (111) pada suhu 450˚C menggunakan teknik Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP). Serbuk Zn(CH3COO)2.2H2O digunakan sebagai prekursor dengan air de-ionisasi sebagai pelarut. Variasi waktu tumbuh mulai dari 10, 20, dan 30 menit dilakukan untuk mengetahui pengaruhnya terhadap struktur kristal lapisan tipis ZnO. Hasil analisis X-Ray Diffraction (XRD) menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO memiliki struktur polikristal hexagonal wurtzite dengan orientasi bidang dominan (100), (002), dan (101). Besarnya ukuran butir untuk sampel dengan suhu tumbuh 10, 20, dan 30 menit memiliki nilai minimum sebesar 24,2 nm dan nilai maksimum sebesar 41,8 nm. Sedangkan nilai d-spacing dan FWHM untuk setiap sampel bervariasi seiring dengan perbedaan waktu tumbuh. Morfologi lapisan tipis ZnO memperlihatkan bahwa permukaan film cenderung padat dan seragam dengan nilai rms roughness masing-masing 25.715 nm, 17.853 nm, dan 27.391 nm untuk sampel dengan waktu tumbuh 10, 20, dan 30 menit.
Kata Kunci: ZnO, lapisan tipis, waktu tumbuh, struktur kristal, XRD, morfologi, ultrasonic spray pyrolysis (USP) Bibliorgafi : lembar 52-55
SS00011139 | SK 11139 | UPT Perpustakaan UNJ | Tersedia |
Tidak tersedia versi lain