Gaya APA

Makarim, S., dkk., . (). Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering . : .

Gaya MLA

Makarim, Salvienty., dkk., . "Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering ". : , . .