Gaya APA

Ady, Y., dkk., . (). Studi Spektroskopi Ellipsometri lapisan tipis Amorf Silikon Karbon (a-SIC:H) yang dihasilkan dengan metode deposisi DC Sputtering . : .

Gaya MLA

Ady, Yan., dkk., . "Studi Spektroskopi Ellipsometri lapisan tipis Amorf Silikon Karbon (a-SIC:H) yang dihasilkan dengan metode deposisi DC Sputtering ". : , . .