Gaya APA

dkk., ., Yudyanto, . (). Pengaruh suhu anil dan dosis pada hambatan lapisan semikonduktor Silikon diimplantasi Ion Boron dan Fosfor Dosis Tinggi . : .

Gaya MLA

dkk., ., Yudyanto, . "Pengaruh suhu anil dan dosis pada hambatan lapisan semikonduktor Silikon diimplantasi Ion Boron dan Fosfor Dosis Tinggi ". : , . .