Gaya APA

Saleh, R. et al (). Pengeruh Anil Termal terhadap besaran optimis lapisan tipis 1-SiC:H hasil metose DC Sputtering I.Target Silikon . : .

Gaya MLA

Saleh, Rosari. et al. "Pengeruh Anil Termal terhadap besaran optimis lapisan tipis 1-SiC:H hasil metose DC Sputtering I.Target Silikon ". : , . .