Gaya APA

Supu, A., dkk., . (). Optimasi parameter tekanan deposisi untuk penumbuhan lapisan tipis Mikrokristal Silikon degan metode HWC PECVD . : .

Gaya MLA

Supu, Amiruddin., dkk., . "Optimasi parameter tekanan deposisi untuk penumbuhan lapisan tipis Mikrokristal Silikon degan metode HWC PECVD ". : , . .