Gaya APA

dkk., ., Supu, A. (). Optimasi parameter tekanan deposisi untuk penumbuhan lapisan tipis Mikrokristal Silikon degan metode HWC PECVD . : .

Gaya MLA

dkk., ., Supu, Amiruddin. "Optimasi parameter tekanan deposisi untuk penumbuhan lapisan tipis Mikrokristal Silikon degan metode HWC PECVD ". : , . .