Identifikasi struktur-struktur ikatan pada lapisan tipis Amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi DCSPUTTERING dengan menggunakan spektroskopi inframerah
Tidak Tersedia Deskripsi
Ketersediaan
Tidak ada salinan data
Informasi Detail
Judul Seri
Makara: Jur. Penelitian Univ.Indonesia
No. Panggil
-
Penerbit
:
.,
Deskripsi Fisik
(8) Seri B Edisi Sains dan Teknologi, Desember 200